真空泵组
FJ-80
分子泵机组是一种清洁的高 ( 超高 ) 真空获得设备，这种设备是根据真空知识原理，主要由分子泵和机械泵组合成的真空获得系统。 本说明书中所述产品包括 FJ-80、FJ-150 和 FJ-300 三种基本型号，对应的分子泵抽速分别为 62L/s、140L/s 和 260L/s, 前级油泵抽速有 0.5L/s 和 3L/s，前级干泵抽速有 0.2L 和 2L/s。
FJ-110
FJ-110标准复合分子泵机组是一台清洁的高真空获得设备。
此设备是根据真空知识原理，利用机械泵、涡轮分子泵组合成的真空获得设备，具有启动时间快、真空度高、操作方便等特点。
具体组成主要包括真空测量系统、真空室、阀门及真空管路、电器控制系统等
FJ-620
FJ-620复合分子泵机组是一台清洁的高真空获得设备。
此设备是根据真空知识原理，利用机械泵、分子泵组合成的真空获得设备，具有启动时间快、真空度高、油污染极少、操作方便等特点。
具体组成主要包括非标机架、机械泵及管路、电器控制系统、水冷却保护控制等