氟油平台
FY-6氟油检漏平台
氦气氟油加压检漏装置是专门针对半导体器件、集成电路、电子产品等电子元器件进行细检和粗检的一套自动化检漏装置。它与氦质谱检漏仪和重氟油加热仪配合使用，可以进行电子元器件的整个细检和粗检过程
HF-6氟油平台
自动化程度高， 操作便捷
全过程有数据监控，可实现数据存储和传输
可设置管理权限
有预约功能，提高工作效率
HF-6A氟油平台
自动化程度高， 操作便捷
全过程有数据监控，可实现数据存储和传输
可设置管理权限
有预约功能，提高工作效率
储油罐、氮气罐液位双指示，使用更加便捷