真空装备制造

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多工位真空镀膜及封接检测设备

多工位真空镀膜及封接检测设备

设备可完成光电倍增管及其它光电器件的高温真空除气、阴极激活、阴极转移、MCP清刷、锢封等多道关键制备工序,是多种运动方式同时存在的复杂系统。主要应用于中微子探测试验、高能物理探测和单光子探测等探测元件的制备领域。