直线式劳挨透镜镀制机
直线式劳挨透镜镀制机
直线式劳埃透镜镀制机，是为高能同步辐射光源（HEPS）硏发的高端仪器装备，用于制备硬X射线纳米聚焦的劳埃透镜膜层。最主要的特点是膜层层数多（数千层甚至更多）且膜层位置和厚度精度高（总位置平均误差小于±5nm ,每层的厚度误差小于0.1nm）。为了保证楔形膜的要求精度，系统采用磁控溅射与基片变加速运动控制技术 相结合进行膜层制备，其优点是，能够精确控制膜层厚度及或膜形状，重复性好,薄膜与基片结合紧密，薄膜纯度高、致密性好。
直线式劳埃透镜镀制机，是为高能同步辐射光源（HEPS）硏发的高端仪器装备，用于制备硬X射线纳米聚焦的劳埃透镜膜层。最主要的特点是膜层层数多（数千层甚至更多）且膜层位置和厚度精度高（总位置平均误差小于±5nm ,每层的厚度误差小于0.1nm）。为了保证楔形膜的要求精度，系统采用磁控溅射与基片变加速运动控制技术 相结合进行膜层制备，其优点是，能够精确控制膜层厚度及或膜形状，重复性好,薄膜与基片结合紧密，薄膜纯度高、致密性好。