多工位真空储存柜_真空排气装置_真空应用_产品中心

真空存储柜应用于芯片及电子器件生产过程中的产品暂存，可防止器件被氧化。特点：洁净度达到半导体级洁净度，设备极限真空度达到10^-5Pa。