分子泵过流保护分为加速中过流保护与恒速运行中过流保护两种情况，应分别诊断

（1）加速中过流保护

         可能情况：系统漏气、真空度较差

检测方法及建议：

        1）观察分子泵前级真空度是否优于10Pa；
        2）用检漏仪对系统进行整机检漏，确保系统无漏；
        3）确保系统漏率在允许范围内且前级优于10Pa后重启分子泵。

（2）恒速运行中过流保护

        可能情况：分子泵运行中负载突变

检测方式及建议：

         1）观察系统真空度变化过程；
         2）若出现较明显变化（如10-4Pa降至10-1Pa），则会出现过流保护情况。

分子泵在运转过程中需要进行冷却，分风冷和水冷两种。应分别诊断：

（1）水冷分子泵

         可能情况1：水流量、水压、水温、环境温度异常

检测方法及建议1：

        1）检查水流量是否大于1L/min，水压是否高于0.15MPa；

        2）水温是否低于25℃，环境温度是否低于40℃；

        3）上述条件如不满足，建议客户改善外部环境，从而保证设备正常运行。

        可能情况2：分子泵水路堵塞

检测方式及建议2：

        1）正常通水的情况下，将出水管拔出，检查水流情况，判断堵塞的严重程度；

        2）若属于一般堵塞（出水量大约为进水量的1/2），建议增大水压或采用压缩空气冲洗水路；

        3）若属于重度堵塞（出水量不足进水量的1/3）且冲洗无效，建议返厂维修。

        可能情况3：热继电器损坏

检测方式及建议3：

        1）报警后，停机2～3小时（保持冷却），用万用表测量分子泵热继电器阻值；

        2）8芯产品测量6、8脚，12芯产品测量5、6脚，若继电器损坏，属于开路状态；

        3）热继电器损坏时，建议返厂维修。

（2）风冷分子泵

         可能情况1：环境温度异常

检测方法及建议1：

        1）环境温度是否低于35℃，若不满足，建议用户改善外部环境，以保证分子泵正常运行；

        可能情况2：热继电器损坏

检测方式及建议2：

        1）报警后，停机2～3小时，用万用表测量热继电器器阻值；

        2）8芯产品测量6、8脚，12芯产品测量5、6脚，若继电器损坏，属于开路状态；

        3）热继电器损坏时，建议返厂维修。

        可能情况3：风扇未运转、导线故障

检测方式及建议3：

        1）查看风扇能否正常运转，并根据具体情况选择是否更换风扇；

        2）检查风扇供电线是否有断路或许虚接，以保证供电正常。

        可能情况4：控制器风扇插座无电压输出

检测方式及建议4：

        1）用万用表测量风扇插座输出电压是否正常，并根据具体情况进行修复。

        可能情况5：电缆线故障

检测方式及建议5：

        1）测量电缆线导线是否有虚接、断路等情况，并及时修复，然后即可正常使用。

        可能情况6：控制器损坏

检测方式及建议6：

        1）将分子泵端电缆线与泵脱开，短接6、8脚（8芯泵）或5、6脚（12芯泵）；

        1）闭合控制器电源开关，如果控制器显示过热报警，建议返厂维修。

分子泵过载保护分为特征频率过载和其它频率过载保护两张情况，应分别诊断：

（1）特征频率过载

         可能情况：轴承损坏、叶片卡死、碎泵

检测方法及建议：

        1）油润滑分子泵，润滑油短时间变黑；换油后短时间再次变黑说明轴承损坏；

        2）油润滑分子泵，转动供油锥；脂润滑分子泵转动叶片，如果可以转动但手离开后马上停止或有明显的迟滞现象，说明轴承损坏；如果不能转动，说明叶片卡死或碎泵。

        3）上述情况，建议返厂维修。

（2）其它频率过载

        可能情况1：分子泵加速中长期漏气，电流过大

检测方式及建议：

         1）观察分子泵前级真空度是否优于10Pa；

         2）用检漏仪对系统进行整机检漏，确保系统漏率在允许范围内；

         3）确保系统漏率在允许范围内且前级优于10Pa后重启分子泵。

        可能情况2：前级真空度偏低

检测方式及建议2：

         测量分子泵前级口真空度，确保优于10Pa，并无漏气后，再次启动分子泵。

        可能情况3：前级阀损坏

检测方式及建议3：

         取下前级阀进行检测，如损坏则更换。

        可能情况4：电缆线故障

检测方式及建议4：

         测量电缆线导线本身是否有虚接、断路等情况，并及时修复，然后正常启动分子泵。

        可能情况5：控制程序问题

检测方式及建议5：

         查看控制器工作频率与所使用分子泵是否一致，若不匹配，建议将控制器返厂维修。

         可能原因：灯丝对中不好，电子束没有打下来

处理方法：

        更换完灯丝，拉开V1，加高压，加对比度，亮度放在合适位置，加灯丝电压，使束流饱和，这时没有信号，调节电对中无作用，这时要将电对中X、Y放在"0"附近。为了大致确定离子束偏向那边，三个螺钉先调那一个，是向下调还是向上调，首先要在三个螺钉的部位用双手按压几下，如果按压时，屏幕突然亮了，用内六角扳手调节按压附近的螺钉，屏幕上有信号，将亮度、对比度调节适当，再依次调节每一个螺钉，观察图像最亮。然后再调节电对中X、Y，使图像在最亮处。

         可能原因：光阑或镜筒受污染

         （1）物镜光阑污染需要高温清洗或更换；

         （2）镜筒污染严重，需要清洗；

处理方法：

        （1）先调节物镜光阑杆更换光阑，调节消像散至图像清晰；

        （2）如上述方法失效，说明镜筒污染，需进行维护保养，清洗维护。

补充说明：

        通常情况下，电子束斑是圆形的，由于电子光学镜筒轻微污染或光阑污染，电子束斑呈椭圆形，消像散器用于修正这个椭圆形斑束。