磁悬浮分子泵
CXF-200/1401CV
卓越可靠的耐腐蚀能力：复合耐腐蚀涂层，保护涡轮及静片基材免受腐蚀气体的侵蚀
安全稳定的防沉积能力：增设加热模块对分子泵整体进行加热。
紧凑便利的高集成设计：结构紧凑、体积小、安装便利，便于在机台中布置
CXF-200/1401CS
安全稳定的防沉积能力：增设加热模块对分子泵整体进行加热。
卓越可靠的耐腐蚀能力：复合耐腐蚀涂层，保护涡轮及静片基材免受腐蚀气体的侵蚀。
配置灵活的分体式设计：将分子泵本体与控制器分开，通过长线缆相连，选配电磁防护罩，提升分子泵的抗电磁干扰能力。
CXF-250/2301CV
卓越可靠的耐腐蚀能力：复合耐腐蚀涂层，保护涡轮及静片基材免受腐蚀气体的侵蚀
安全稳定的防沉积能力：增设加热模块对分子泵整体进行加热。
紧凑便利的高集成设计：结构紧凑、体积小、安装便利，便于在机台中布置