CCQ-型超高真空气动插板阀
CCQ-型超高真空气动插板阀
密封可靠、稳定性高，使用寿命长；
运动精准平稳、震动噪音小，适合光学、玻璃，磁悬浮泵；
可替代同类进口阀，实现双向密封；
适用于洁净、无尘的真空环境；
支持客户非标定做。
该系列插板阀适用于工作介质为空气及非腐蚀性气体的场合，配有磁性感应开关，有指示灯显示开闭位置
| CCQ- 超高真空气动插板阀系列技术指标 | |||||||||||
| 型号 Model | CCQ-35B | CCQ-50B | CCQ-63B | CCQ-80A | CCQ-100A | CCQ-150A | CCQ-200A | CCQ-250A | CCQ-320B | CCQ-400B | |
| 接口法兰 Flange | CF/ISO-F | ||||||||||
| 公称通径(mm) Nominal Diameter | DN35 | DN50 | DN63 | DN80 | DN100 | DN150 | DN200 | DN250 | DN320 | DN400 | |
| 适用范围（Pa）Range of application | 105～10-6 | 105～10-6 | 105～10-6 | 105～10-6 | 105～10-6 | 105～10-6 | 105～10-6 | 105～10-6 | 105～10-6 | 105～10-6 | |
 漏率(Pa·m³/s) Leakage rate | ≤1.3×10-10 | ≤1.3×10-10 | ≤1.3×10-10 | ≤1.3×10-10 | ≤1.3×10-10 | ≤1.3×10-10 | ≤1.3×10-10 | ≤1.3×10-10 | ≤1.3×10-10 | ≤1.3×10-10 | |
| 驱动方式 Drive mode | 气动 Pneumatic | 气动 Pneumatic | 气动 Pneumatic | 气动 Pneumatic | 气动 Pneumatic | 气动 Pneumatic | 气动 Pneumatic | 气动 Pneumatic | 气动 Pneumatic | 气动 Pneumatic | |
| 工作气压(MPa) Working pressure | 0.3～0.4 | 0.3～0.4 | 0.3～0.4 | 0.4～0.5 | 0.4～0.5 | 0.4～0.5 | 0.4～0.5 | 0.5～0.6 | 0.6～0.7 | 0.6～0.7 | |
| 阀门位置指示 Valve In-place Indication | 磁感应开关 Magnetic | 磁感应开关 Magnetic | 磁感应开关 Magnetic | 磁感应开关 Magnetic | 磁感应开关 Magnetic | 磁感应开关 Magnetic | 磁感应开关 Magnetic | 磁感应开关 Magnetic | 磁感应开关 Magnetic | 磁感应开关 Magnetic | |
| 耐烘烤温度(℃) Baking temperature | 开 on | 150 | 150 | 150 | 150 | 150 | 150 | 150 | 150 | 150 | 150 |
| 关 off | 120 | 120 | 120 | 120 | 120 | 120 | 120 | 120 | 120 | 120 | |
| 安装方向 Mounting position | 任意 Any | 任意 Any | 任意 Any | 任意 Any | 任意 Any | 任意 Any | 任意 Any | 任意 Any | 水平或气缸朝上 | 水平或气缸朝上 | |
| CCQ- 超高真空气动插板阀系列外形尺寸表(单位：mm) | ||||||||||||||||||
| CCQ-35B、50B、63B、80A、100A、150A、200A、250A、320B、400B CF法兰 | ||||||||||||||||||
| 型号 | DN | 外型尺寸 Dimension | ||||||||||||||||
| A | B | C | D | E | F | G | H | I | J | K | L | M | N | P | Q | R-S | ||
| CCQ-35B | CF35 | 82 | 95 | 37 | 95 | 352 | 62.5 | 34.5 | 58.7 | 60 | 53 | 42 | 48.3 | 70 | 62 | 0.5 | 1.2 | 6-M6 |
| CCQ-50B | CF50 | 92 | 124 | 42 | 142 | 304 | 70.5 | 34.5 | 72.4 | 45 | 64 | 55.6 | 61.6 | 86 | 65 | 0.5 | 1.2 | 8-M8 |
| CCQ-63B | CF63 | 105 | 130 | 48.5 | 166 | 334.5 | 70.5 | 34.5 | 92.2 | 45 | 64 | 77 | 82.4 | 114 | 65 | 0.5 | 1.2 | 8-M8 |
| CCQ-80A | CF80 | 136 | 164 | 64 | 191 | 382 | 70 | 34 | 110 | 22.5 | 64 | 93 | 99 | 130 | 64 | 0.5 | 1.2 | 16-M8 |
| CCQ-100A | CF100 | 152 | 178 | 75 | 226 | 447 | 76 | 36 | 130.3 | 22.5 | 64 | 115 | 120.6 | 160 | 64 | 0.5 | 1.2 | 16-M8 |
| CCQ-150A | CF150 | 200 | 228 | 96 | 300 | 576 | 80 | 40 | 181 | 18 | 77 | 166 | 171.4 | 210 | 75 | 0.5 | 1.2 | 20-M8 |
| CCQ-200A | CF200 | 248 | 276 | 123 | 385 | 710.5 | 94 | 42 | 231.8 | 15 | 98 | 217 | 222.1 | 259 | 75 | 0.5 | 1.2 | 24-M8 |
| CCQ-250A | CF250 | 310 | 342 | 150 | 460 | 812.5 | 101 | 48 | 284 | 11.25 | 117 | 267 | 273.1 | 319 | 80 | 0.5 | 1.2 | 32-M8 |
| CCQ-320B | CF320 | 405 | 421 | 190 | 588 | 980.5 | 114 | 54 | 338.1 | 11.25 | 117 | 320 | 326.4 | 368 | 85 | 0.5 | 1.2 | 32-M10 |
| CCQ-400B | CF400 | 495 | 511 | 240 | 741 | 1308 | 119 | 59 | 437.9 | 9 | 142 | 419 | 424.4 | 470 | 91 | 0.5 | 1.2 | 40-M10 |
| CCQ-35B、50B、63B、80A、100A、150A、200A、250A、320B、400B ISO-F法兰 | ||||||||||||||||||
| 型号 | DN | 外型尺寸 Dimension | ||||||||||||||||
| A | B | C | D | E | F | G | H | I | J | K | L | M | N | P | Q | R-S | ||
| CCQ-35B | ISO-F35 | 82 | 95 | 37 | 95 | 352 | 62.5 | 34.5 | 80 | 90 | 53 | 41.2 | 65 | 100 | 62 | 0.2 | 3 | 4-M8 |
| CCQ-50B | ISO-F50 | 92 | 124 | 42 | 142 | 304 | 70.5 | 34.5 | 90 | 90 | 64 | 52.2 | 75 | 110 | 65 | 0.5 | 4 | 4-M8 |
| CCQ-63B | ISO-F63 | 105 | 130 | 48.5 | 166 | 334.5 | 70.5 | 34.5 | 110 | 90 | 64 | 70 | 95 | 130 | 65 | 0.5 | 4 | 4-M8 |
| CCQ-80A | ISO-F80 | 136 | 164 | 64 | 191 | 382 | 70 | 34 | 125 | 45 | 64 | 83 | 110 | 145 | 64 | 0.5 | 4 | 8-M8 |
| CCQ-100A | ISO-F100 | 152 | 178 | 75 | 226 | 447 | 76 | 34 | 145 | 45 | 64 | 102 | 125 | 165 | 64 | 0.5 | 4 | 8-M8 |
| CCQ-150A | ISO-F150 | 200 | 228 | 96 | 300 | 576 | 80 | 40 | 200 | 45 | 77 | 153 | 185 | 225 | 75 | 0.5 | 4 | 8-M10 |
| CCQ-200A | ISO-F200 | 248 | 276 | 123 | 385 | 710.5 | 86 | 42 | 260 | 30 | 98 | 213 | 245 | 285 | 75 | 0.5 | 4 | 12-M10 |
| CCQ-250A | ISO-F250 | 310 | 342 | 150 | 460 | 812.5 | 91 | 48 | 310 | 30 | 117 | 261 | 295 | 335 | 80 | 0.5 | 4 | 12-M10 |
| CCQ-320B | ISO-F320 | 405 | 421 | 190 | 588 | 980.5 | 104 | 54 | 395 | 30 | 117 | 318.2 | 370 | 425 | 85 | 0.5 | 5 | 12-M12 |
| CCQ-400B | ISO-F400 | 495 | 511 | 240 | 741 | 1308 | 113 | 59 | 480 | 22.5 | 142 | 400.5 | 450 | 510 | 91 | 0.5 | 5 | 16-M12 |
CCQ- 型超高真空气动插板阀为新研制的超薄阀门，是以压缩空气为动力，通过电磁换向阀改变气路方向，气缸活塞杆推(拉)动阀芯组件做直线运动，从而控制阀门的开启或关闭。该系列插板阀适用于工作介质为空气及非腐蚀性气体的场合，配有磁性感应开关，有指示灯显示开闭位置。
CCQ- 型超高真空气动插板阀型号：
CCQ-35B、CCQ-50B、CCQ-63B、CCQ-80A、CCQ-100A、CCQ-150A、CCQ-200A、CCQ-250A、CCQ-320B、CCQ-400B。
阀门标准接口形式：
Standard Flange:
CF、ISO-F