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卓越可靠的耐腐蚀能力：复合耐腐蚀涂层，保护涡轮及静片基材免受腐蚀气体的侵蚀
安全稳定的防沉积能力：增设加热模块对分子泵整体进行加热。
紧凑便利的高集成设计：结构紧凑、体积小、安装便利，便于在机台中布置
半导体刻蚀、沉积、薄膜沉积、半导体科研、分子束外延、化学过程等领域
