真空装备制造

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APC自动压力调节插板阀

APC自动压力调节插板阀

APC自动压力调节插板阀 

CCD-100ZM、CCD-150ZM、CCD-200ZM、CCD-250ZM

智能调节,控制简便快捷。

质量稳定,抗干扰能力强。

配置丰富,人机接口友好。

一体设计,集成化程度高。

安全可靠,低压直流供电

APC自动压力调节插板阀应用于真空腔室的压力调节隔或真空隔断,控制精度高,响应速度快,震动噪音小

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阀板作为调节元件,通过不同位置改变阀门通经流导大小,控制主抽泵的有效抽速。APC控制器根据腔体容积、流量等条件自学习,自动建立压力控制参数。用户上位机输入设定工艺真空压力,APC压力控制器通过与压力传感器实时反馈腔体压力值比对,自动计算所需阀板位置,快速精准到达预定位置并适当微调,以获得设定的真空压力值。