真空装备制造

一流的真空获得/检漏技术,提供定制化解决方案

KYKY-EM6900

KYKY-EM6900

分辨率高,可满足大多数样品的微观形貌测试。

翻开式预对中钨灯丝阴极,可自行更换灯丝。

成像效果优良,细节清晰,景深大。

样品仓接口丰富,可扩展各品牌EDS\EBSD\CL\WDS等各类探测器,可满足各类原位测试需求。

独立软件设计,符合中国人操作习惯。

自动功能:电子枪加热、偏压、对中、聚焦、亮度、对比度、消像散、像散记忆等。

电池材料、半导体、复合材料、高分子、动植物、微生物、粉末冶金、矿物、金属行业、建筑材料、化工材料、陶瓷材料
1. 分辨率:  3nm@30KV(SE); 6nm@30KV(BSE)

2. 放大倍率:  8~300000 倍

3. 电子枪:  翻开式预对中钨丝阴极

4. 加速电压: 0~30kV连续可调,0-10kV步进量为100V,10kV以上步进量为1kV

5. 中英文菜单,一键切换

6. 探测器标准配置:

(1) 高真空二次电子探测器

(2) 四分割半导体BSE探测器

(3) CCD

7. 样品台配置

五轴精密样品台,四轴自动:

行程: X=70mm,Y=50mm,Z=45mm,R=360°,T=-5°~+90°(手动)

最大样品直径: Ф175mm;最大样品高度:35mm

电子光学镜筒部分: 800×800×1850(mm)
电器柜控制部分: 1340×850×740(mm)

1.    分辨率高、成像质量好

2.    翻开式预对中钨丝阴极、选配六硼化镧灯丝

3.    中英文操作界面,具有一键成像功能

4.    低维护、维修成本