KYKY-EM6900LV
KYKY-EM6900LV
分辨率高,可满足大多数样品的微观形貌测试,尤其是含水、多孔、不耐电子束烧伤和不适合喷金处理的样品进行直接观测。
翻开式预对中钨灯丝阴极,可自行更换灯丝。
可实现样品室低真空氛围(10-270Pa),有效降低电荷积累。
成像效果优良,细节清晰,景深大。
独立软件设计,符合中国人操作习惯。
易操作,低故障,适合多试样测试。
自动功能:电子枪加热、偏压、对中、聚焦、亮度、对比度、消像散、像散记忆等。
生命科学、动植物、微生物、半导体等敏感试样等
1. 分辨率: 3nm@30KV(高真空 SE); 6nm@30KV(高、低真空 BSE)
2. 放大倍率: 8~300000 倍
3. 电子枪: 翻开式预对中钨丝阴极
4. 加速电压: 0~30kV连续可调,0-10kV步进量为100V,10kV以上步进量为1kV
5. 中英文菜单,具有一键切换
6. 低真空范围:10~270Pa,真空切换时间小于90秒
7. 探测器标准配置:
(1) 高真空二次电子探测器
(2) 四分割半导体BSE探测器
(3) CCD
8. 样品台配置
五轴样品台,四轴自动:
行程: X=70mm,Y=50mm,Z=45mm,R=360°,T=-5°~+90°(手动)
最大样品直径: Ф175mm;最大样品高度:35mm
电子光学镜筒部分: 800×800×1850(mm)
电器柜控制部分: 1340×850×740(mm)
电器柜控制部分: 1340×850×740(mm)
1)具备低真空功能
2)分辨率高、成像质量好
3)翻开式预对中钨丝阴极、选配六硼化镧灯丝
4)中英文操作界面,具有一键成像功能