真空装备制造

一流的真空获得/检漏技术,提供定制化解决方案

KYKY-EM6900LV

KYKY-EM6900LV

分辨率高,可满足大多数样品的微观形貌测试,尤其是含水、多孔、不耐电子束烧伤和不适合喷金处理的样品进行直接观测。

翻开式预对中钨灯丝阴极,可自行更换灯丝。

可实现样品室低真空氛围(10-270Pa),有效降低电荷积累。

成像效果优良,细节清晰,景深大。

独立软件设计,符合中国人操作习惯。

易操作,低故障,适合多试样测试。

自动功能:电子枪加热、偏压、对中、聚焦、亮度、对比度、消像散、像散记忆等。

生命科学、动植物、微生物、半导体等敏感试样等

1. 分辨率:  3nm@30KV(高真空 SE); 6nm@30KV(高、低真空 BSE)

2. 放大倍率:  8~300000 倍

3. 电子枪:  翻开式预对中钨丝阴极

4. 加速电压:  0~30kV连续可调,0-10kV步进量为100V,10kV以上步进量为1kV

5. 中英文菜单,具有一键切换

6. 低真空范围:10~270Pa,真空切换时间小于90秒

7. 探测器标准配置:

(1) 高真空二次电子探测器

(2) 四分割半导体BSE探测器

(3) CCD

8. 样品台配置

五轴样品台,四轴自动:

行程: X=70mm,Y=50mm,Z=45mm,R=360°,T=-5°~+90°(手动)

最大样品直径: Ф175mm;最大样品高度:35mm


电子光学镜筒部分: 800×800×1850(mm)
电器柜控制部分: 1340×850×740(mm)
1)具备低真空功能

2)分辨率高、成像质量好

3)翻开式预对中钨丝阴极、选配六硼化镧灯丝

4)中英文操作界面,具有一键成像功能