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任意角度安装,便于系统集成,紧凑型结构
复合抽气结构,高前级压强下仍保持较大抽速
高强度转子,适用于复杂工业过程
使用方便、应用范围广、性能稳定
平板显示、薄膜电池、Low-E玻璃、ITO、碳化硅、加速器、真空炉、晶体晶振等