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应用于光探测器用电子玻璃材料、光敏微精玻璃、x射线管、红外器件、行波管等光电子器件产品的制造。
工位接口数量：6-20工位
极限真空度：抽排的工件极限真空度10-8Pa
无油污染：采用无油机械泵与分子泵，避免油蒸汽对工作环境的污染
烘烤：烘箱加热,烘烤温度可达到200℃且具有温度显示和可调功能
工位处配置充N2接口，使在卸下工件时能够充入N2保护
