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真空存储柜应用于芯片及电子器件生产过程中的产品暂存，可防止器件被氧化。特点：洁净度达到半导体级洁净度，设备极限真空度达到10-5Pa。
工作真空度∶所有腔体一起抽空，15分钟抽到8*10-3Pa
极限真空度∶可达5×10-5Pa· 系统漏率∶<2×10-3Pa·m3/s
每个工位可独立控制，可单独抽气和放气，可选择氮气清洗模式或者抽真空模式，充入氮气量可设定，真空度可设定
