真空装备制造

一流的真空获得/检漏技术,提供定制化解决方案

KYKY-EM8000

KYKY-EM8000

高性能肖特基场发射电子枪,亮度高、单色性好、束斑小,寿命更长

低加速电压下,保持较好的亮度、分辨率

低加速电压不导电样品可以直接观测,无需喷金

束流稳定度高,满足长时间工作需求

满足用户定制化需求,适合多模块嵌入,多系统互联

易操作,易维护,性价比高,性能远高于普通钨灯丝类电镜


电池材料、半导体、复合材料、高分子、动植物、微生物、粉末冶金、矿物、金属行业、建筑材料、化工材料、陶瓷材料

高性能肖特基场发射电子枪,亮度高、单色性好、束斑小,寿命更长

低加速电压下,保持较好的亮度、分辨率

低加速电压不导电样品可以直接观测,无需喷金

束流稳定度高,满足长时间工作需求

满足用户定制化需求,适合多模块嵌入,多系统互联

易操作,易维护,性价比高,性能远高于普通钨灯丝类电镜

详细技术指标:(点击链接,填写联系方式获取)

1. 分辨率:  1.5nm@15KV(SE); 3nm@30KV(BSE)

2. 放大倍率:  8倍~800000 倍

3. 电子枪:  肖特基场发射电子枪

4. 加速电压:  0~30kV

5. 真空系统:1套离子泵组,1个涡轮分子泵,1个机械泵; 样品室真空优于6.0E-4 Pa ,电子枪仓真空优于2E-7 Pa。全自动真空控制,具有真空互锁功能。

6. 探测器配置:

二次电子探测器

背散射电子探测器(选配)

CCD

7. 样品台配置

五轴全自动中型样品台

行程:  X=80mm,Y=50mm,Z=30mm,T=-5°~+70°,R=360°

最大样品直径: Ф175mm;最大样品高度:20mm