真空装备制造

一流的真空获得/检漏技术,提供定制化解决方案

KYKY-EM8100

KYKY-EM8100

高性能肖特基场发射电子枪,亮度高、单色性好、束斑小、寿命长

具备卓越的低加速电压成像性能

超大样品腔室,更多扩展接口,满足多探测器、多功能联用、多嵌入原位测试

束流稳定,满足长时间工作需求

非导体试样或电子束敏感试样可不喷涂导电膜直接观测


电池材料、半导体、复合材料、高分子、动植物、微生物、粉末冶金、矿物、金属行业、建筑材料、化工材料、陶瓷材料

高性能肖特基场发射电子枪,亮度高、单色性好、束斑小、寿命长

低加速电压下,具备卓越的成像性能

超大样品腔室,满足多种试样测试需求,以及多功能、原位测试扩展

束流稳定,满足长时间工作需求

不导电样品可直接观测,不需喷金

易操作,易维护,超高性价比

详细技术指标:(点击链接,填写联系方式获取)

1. 分辨率:   1.0nm@30KV(SE)  3.0nm@1KV(SE)  2.5nm@30KV (BSE)

2. 放大倍率:  6-1000000 倍

3. 电子枪:肖特基场发射电子枪

4. 加速电压:  0~30kV

5. 真空系统:1套吸气剂离子复合泵,1个涡轮分子泵,1个机械泵;样品室真空优于6E-4 Pa ,电子枪仓真空优于2E-7 Pa;全自动真空控制,具有真空互锁功能。

6. 探测器配置:

二次电子探测器

背散射电子探测器(选配)

CCD

7. 五轴全自动大样品台:

行程: X=150mm,Y=150mm,Z=60mm,T=-5°~+70°,R=360°

最大样品直径: Ф340mm;最大样品高度:50mm