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抽速快
操作简便
真空度高
安全可靠
该仪器为扫描电镜和电子探针等进行试样制备的设备，可进行真空蒸碳、真空镀膜和离子溅射。
抽气系统：机械泵+分子泵；
极限真空度：≤2 x 10-3 Pa；
金靶尺寸：ø38 mm；
溅射电压：3 KV；
试样台尺寸：ø40 mm；
钟罩尺寸：ø250 mm x H340 mm；
蒸发镀玻璃罩尺寸：ø88 mm x H140 mm；
溅射镀玻璃罩尺寸：ø88 mm x H57 mm；
试样运动方式：平面转动、倾斜旋转。
抽速快，操作简便，真空度高，安全可靠。
